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中國電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展報(bào)告:特種氣體技術(shù)壁壘高,國產(chǎn)替代仍需時(shí)間
發(fā)布時(shí)間:2026-02-05 來源:芯聯(lián)匯     分享到:


電子特氣國產(chǎn)化具備長期戰(zhàn)略價(jià)值
技術(shù)、工藝與認(rèn)證周期決定推進(jìn)節(jié)奏

這兩年,只要聊到電子特種氣體,最常聽到的一句話是——國產(chǎn)替代正在加速。
但在真正把這份 深企投《2025 中國電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展報(bào)告》從頭到尾看完之后,小編的感受反而更復(fù)雜了一點(diǎn)。

是的,國產(chǎn)電子特氣確實(shí)在進(jìn)步,NF?、WF?、硅烷、超純氨等多個(gè)品類已經(jīng)跑通了量產(chǎn),也開始進(jìn)入頭部晶圓廠和面板廠的供應(yīng)體系;但與此同時(shí),另一個(gè)信號(hào)也正在變得越來越清晰——這個(gè)行業(yè),已經(jīng)開始提前進(jìn)入“比國產(chǎn)化本身更難”的階段。

電子特氣依然是半導(dǎo)體制造繞不開的“卡脖子”材料,先進(jìn)制程、高端工藝對海外的依賴并沒有本質(zhì)改變。但在中低端品類集中擴(kuò)產(chǎn)之后,行業(yè)正在從“供給不夠”切換到“結(jié)構(gòu)性過?!?,競爭焦點(diǎn)也悄然發(fā)生了變化:
不再是誰能做出來,而是誰能真正進(jìn)先進(jìn)制程、能不能長期、穩(wěn)定地留在客戶產(chǎn)線上。

也正是從這個(gè)角度再回頭看三氟化氮(NF?),你會(huì)發(fā)現(xiàn),它并不只是一個(gè)清洗氣體,而是提前把整個(gè)電子特氣產(chǎn)業(yè)的終局,擺在了臺(tái)面上。

一、這份材料真正想說明什么?

電子特種氣體是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“關(guān)鍵卡點(diǎn)”,國產(chǎn)替代空間依然巨大,但在中低端品類集中擴(kuò)產(chǎn)后,行業(yè)已開始從“供給短缺”走向“結(jié)構(gòu)性過?!保磥砀偁幗裹c(diǎn)將從“能不能做”轉(zhuǎn)向“能不能進(jìn)先進(jìn)制程、能不能長期穩(wěn)定供貨”。

二、戰(zhàn)略定位:電子特氣為什么是“卡脖子”材料


電子特氣在半導(dǎo)體制造中,并不是“輔料”,而是高度嵌入制程本身的關(guān)鍵材料。

  • 在晶圓制造材料成本中,電子特氣是第二大成本項(xiàng),占比約 13%–15%

  • 深度參與刻蝕、沉積、清洗、摻雜、光刻等核心工藝步驟

  • 任何純度、雜質(zhì)、穩(wěn)定性問題,都會(huì)直接影響良率,甚至導(dǎo)致整線報(bào)廢

從結(jié)果上看,中國電子特氣的整體國產(chǎn)化率仍不足 25%;
從結(jié)構(gòu)上看,在 7nm 及以下先進(jìn)制程,關(guān)鍵氣體幾乎仍被海外巨頭壟斷。

這背后的本質(zhì),并不是“化工做不好”,而是三重能力疊加:

工藝強(qiáng)耦合 + 極限純度控制 + 長周期客戶認(rèn)證

三、產(chǎn)業(yè)進(jìn)展:國產(chǎn)替代在加速,但仍是“點(diǎn)狀突破”


過去幾年,國內(nèi)電子特氣企業(yè)的進(jìn)展是真實(shí)且顯著的

  • 在 NF?、WF?、SiH?、NH?、部分含氟刻蝕氣體 等領(lǐng)域,已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)

  • 部分產(chǎn)品進(jìn)入 臺(tái)積電、三星、英特爾、中芯國際 等產(chǎn)線

  • 國產(chǎn)企業(yè)已從“實(shí)驗(yàn)室可行”,邁入“工程化可用”階段

但如果從制程完整性與穩(wěn)定供貨能力來看,現(xiàn)階段仍呈現(xiàn)出一個(gè)典型特征:

能做的品類越來越多,但能長期、大規(guī)模、穩(wěn)定服務(wù)先進(jìn)制程的企業(yè)仍然極少。

這決定了國產(chǎn)替代并非一條線性道路,而是高度分化的結(jié)構(gòu)性進(jìn)程。

四、結(jié)構(gòu)性矛盾:國產(chǎn)提升 ≠ 行業(yè)高景氣


在政策支持、資本涌入的共同推動(dòng)下,國產(chǎn)電子特氣的擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏明顯前置。

結(jié)果是:

  • 中低端電子特氣品類集中擴(kuò)產(chǎn)

  • 多個(gè)品類開始出現(xiàn)供需錯(cuò)配

尤其在:

  • NF?

  • 部分含氟刻蝕氣體

  • 硅烷

  • 超純氨

這些品類中,已經(jīng)明顯出現(xiàn):

  • 產(chǎn)能釋放快于需求增長

  • 價(jià)格中樞下移

  • 產(chǎn)能利用率下降

行業(yè)正在從“國產(chǎn)替代紅利期”,進(jìn)入一個(gè)更考驗(yàn)成本、客戶結(jié)構(gòu)與技術(shù)壁壘的供需再平衡階段。

五、終局判斷:真正的勝負(fù),不在產(chǎn)能


報(bào)告隱含的核心判斷其實(shí)非常清晰:

電子特氣的終局,不是“誰建得多”,而是“誰留下來”。

未來競爭,將高度集中在三種能力上:

1?? ppt 級(jí)痕量雜質(zhì)控制與長期穩(wěn)定性能力
2?? 與晶圓廠工藝深度綁定、通過長期認(rèn)證的協(xié)同能力
3?? 從氣體本體,延伸到容器、供氣系統(tǒng)、運(yùn)維服務(wù)的綜合能力

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