4月23日，多氟多新材料股份有限公司開發(fā)完成的“磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸（HF）關鍵技術及裝備”項目在北京通過了由中國石油和化學工業(yè)聯合會組織的科技成果鑒定。
由中國科學院院士彭孝軍、清華大學教授翁端、天津大學教授李鑫鋼、北京化工大學教授李群生等組成的鑒定專家組一致認為，該項技術成果整體達到國際先進水平，其中氟硅酸制工業(yè)無水氟化氫聯產高品質白炭黑技術達到國際領先水平。
超純電子級氫氟酸作為芯片制造行業(yè)不可替代的關鍵電子化學品，其關鍵技術和核心裝備被國外少數化工企業(yè)掌握并長期壟斷，嚴重制約著我國芯片產業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，是亟待攻克的“卡脖子”技術。據多氟多董事長李世江介紹，該項目利用磷肥副產氟硅酸生產超純電子級氫氟酸，緩解了氫氟酸對螢石資源的依賴，解決了磷肥生產過程氟污染難題，推動了氟化工與磷化工行業(yè)健康可持續(xù)高質量發(fā)展。
多氟多董事楊華春表示，多氟多堅持科技創(chuàng)新，致力于解決國家“卡脖子”技術進行研發(fā)。經過持續(xù)攻關，多氟多自主開發(fā)了以磷肥副產氟硅酸為原料生產工業(yè)無水氟化氫的氟硅酸—氨解—熱解循環(huán)耦合工藝，構建氨、氟化鈉的閉路循環(huán)體系；開發(fā)了氟氣預氧化砷—反應精餾—多級膜過濾純化生產超純電子級氫氟酸工藝體系，從工藝、裝備、環(huán)境、質量控制等方面突破了痕量雜質脫除關鍵技術；建成了首套磷肥副產氟硅酸生產萬噸級超純電子級氫氟酸聯產高品質白炭黑生產裝置。據介紹，超純電子級氫氟酸產品經第三方單位檢測，優(yōu)于SEMI G5級標準。產品已經成功應用于國內外高端芯片制造企業(yè)，進入了韓國三星和LG供應體系，成為臺積電在中國大陸唯一的電子級氫氟酸合格供應商，支撐了我國電子材料和芯片行業(yè)的發(fā)展。此外，該項目還實現了工藝綠色化、技術先進化、產品高端化目標。
多氟多在項目開發(fā)過程中，獲得專利授權23項，編制《工業(yè)無水氟化氫》《工業(yè)高純氫氟酸》等6項國家或行業(yè)標準，承擔國家產業(yè)振興和技術改造項目、國家綠色低碳技術攻關項目、國家產業(yè)基礎再造工程等重點專項6項，成為無機氟新材料領域的典范。李世江表示，多年來，多氟多圍繞國家戰(zhàn)略發(fā)展方向，瞄準“卡脖子”難題，先后承擔了23個國家級項目。下一步，多氟多將不負所望、奮發(fā)前行，在低品位資源高值高效利用和打造循環(huán)產業(yè)鏈方面給國家當好試點，闖出一條綠色可持續(xù)發(fā)展的“新路子”，助力民族工業(yè)高質量發(fā)展。（陳菲 危麗瓊）