4月23日，多氟多新材料股份有限公司開發(fā)完成的“磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)超純電子級(jí)氫氟酸（HF）關(guān)鍵技術(shù)及裝備”項(xiàng)目在北京通過(guò)了由中國(guó)石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)組織的科技成果鑒定。
由中國(guó)科學(xué)院院士彭孝軍、清華大學(xué)教授翁端、天津大學(xué)教授李鑫鋼、北京化工大學(xué)教授李群生等組成的鑒定專家組一致認(rèn)為，該項(xiàng)技術(shù)成果整體達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，其中氟硅酸制工業(yè)無(wú)水氟化氫聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑技術(shù)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。
超純電子級(jí)氫氟酸作為芯片制造行業(yè)不可替代的關(guān)鍵電子化學(xué)品，其關(guān)鍵技術(shù)和核心裝備被國(guó)外少數(shù)化工企業(yè)掌握并長(zhǎng)期壟斷，嚴(yán)重制約著我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，是亟待攻克的“卡脖子”技術(shù)。據(jù)多氟多董事長(zhǎng)李世江介紹，該項(xiàng)目利用磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)超純電子級(jí)氫氟酸，緩解了氫氟酸對(duì)螢石資源的依賴，解決了磷肥生產(chǎn)過(guò)程氟污染難題，推動(dòng)了氟化工與磷化工行業(yè)健康可持續(xù)高質(zhì)量發(fā)展。
多氟多董事楊華春表示，多氟多堅(jiān)持科技創(chuàng)新，致力于解決國(guó)家“卡脖子”技術(shù)進(jìn)行研發(fā)。經(jīng)過(guò)持續(xù)攻關(guān)，多氟多自主開發(fā)了以磷肥副產(chǎn)氟硅酸為原料生產(chǎn)工業(yè)無(wú)水氟化氫的氟硅酸—氨解—熱解循環(huán)耦合工藝，構(gòu)建氨、氟化鈉的閉路循環(huán)體系；開發(fā)了氟氣預(yù)氧化砷—反應(yīng)精餾—多級(jí)膜過(guò)濾純化生產(chǎn)超純電子級(jí)氫氟酸工藝體系，從工藝、裝備、環(huán)境、質(zhì)量控制等方面突破了痕量雜質(zhì)脫除關(guān)鍵技術(shù)；建成了首套磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)萬(wàn)噸級(jí)超純電子級(jí)氫氟酸聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑生產(chǎn)裝置。據(jù)介紹，超純電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)品經(jīng)第三方單位檢測(cè)，優(yōu)于SEMI G5級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外高端芯片制造企業(yè)，進(jìn)入了韓國(guó)三星和LG供應(yīng)體系，成為臺(tái)積電在中國(guó)大陸唯一的電子級(jí)氫氟酸合格供應(yīng)商，支撐了我國(guó)電子材料和芯片行業(yè)的發(fā)展。此外，該項(xiàng)目還實(shí)現(xiàn)了工藝綠色化、技術(shù)先進(jìn)化、產(chǎn)品高端化目標(biāo)。
多氟多在項(xiàng)目開發(fā)過(guò)程中，獲得專利授權(quán)23項(xiàng)，編制《工業(yè)無(wú)水氟化氫》《工業(yè)高純氫氟酸》等6項(xiàng)國(guó)家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，承擔(dān)國(guó)家產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造項(xiàng)目、國(guó)家綠色低碳技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目、國(guó)家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)再造工程等重點(diǎn)專項(xiàng)6項(xiàng)，成為無(wú)機(jī)氟新材料領(lǐng)域的典范。李世江表示，多年來(lái)，多氟多圍繞國(guó)家戰(zhàn)略發(fā)展方向，瞄準(zhǔn)“卡脖子”難題，先后承擔(dān)了23個(gè)國(guó)家級(jí)項(xiàng)目。下一步，多氟多將不負(fù)所望、奮發(fā)前行，在低品位資源高值高效利用和打造循環(huán)產(chǎn)業(yè)鏈方面給國(guó)家當(dāng)好試點(diǎn)，闖出一條綠色可持續(xù)發(fā)展的“新路子”，助力民族工業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。（陳菲 危麗瓊）