電子級氫氟酸是氟化氫的水溶液,為無色透明液體, 在25℃時密度1.15gml(50% HF)。對金屬、玻璃、混凝土等具有強烈腐蝕性。電子級氫氟酸作為集成電路(IC)制造的關鍵性基礎化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蝕,用時可與過氧化氫、氨水、硝酸、醋酸等配制使用。
電子級氫氟酸分類:根據用途的不同,電子級氫氟酸被分為EL、UP、UPS、UPSS及UPSSS等,目前半導體級別產品升級快,對產品雜質離子和微粒數要求更高。國產電子級氫氟酸超過65%應用在光伏行業(yè),其次為半導體行業(yè),面板行業(yè)應用較少。
我國電子級氫氟酸行業(yè)起步較晚,由于技術壁壘高,高純電子級氫氟酸主要掌握在國內個別企業(yè),國內廠商主要生產EL、UP、UPS級電子級氫氟酸為主,屬電子級的中、低檔產品,目前在國內已投產或在建的電子級氫氟酸生產商中,達到半導體所用級別(UPSS及以上)的有多氟多、濱化股份、中巨芯、浙江森田、興力電子等少數企業(yè)。
2022年電子級氫氟酸國內總產能40萬噸,產量 16.5萬噸,產能利用率約40.1%,高純級電子氫氟酸年產量大約在4.5萬噸左右。行業(yè)產能閑置率較高,高端產品銷往低端應用情況普遍,具體下游主要應用分布在光伏、半導體行業(yè)領域,面板行業(yè)后端應用,前端較少。
半導體級別電子氫氟酸占芯片整個制造成本的不到1%,測試周期至少需要1年以上,量產后需要1年左右的觀察期,期間出現任何品質問題都可能退出供應行列,使得芯片制造企業(yè)不愿意花費大量的財力物力去評估,企業(yè)產品替換難度較大,半導體芯片制造工藝有成百上千道工序,對電子級氫氟酸的穩(wěn)定性要求非常高,較少有人打破規(guī)矩和供應體系,訂單導入難度大、時間長、流程復雜。
國產高純級電子酸應用量提升緩慢,全球經濟衰退背景下疊加美國芯片法案實施,國產半導體行業(yè)發(fā)展受阻,同時產品出口包含電子級氫氟酸及無水氟化氫等均有所回落,當前電子酸國內市場主要依舊在光伏領域,預計2023年光伏酸用量份額將繼續(xù)提升。
電子級氫氟酸項目規(guī)劃大集合
據氟務在線最新跟蹤統(tǒng)計,預計2023年國內可投產新增電子級氫氟酸產能約10萬噸,年內新增產量貢獻預計將達到4萬噸。具體企業(yè)進度看如下數據
1、永晶新材料有限公司
永晶新材料有限公司擬總投資10億元于大英縣經濟開發(fā)區(qū)紅花壩新建6萬噸/年電子級氫氟酸、6萬噸/年電子級雙氧水及1萬噸/年電子級氟化銨溶液項目。其中一期項目含有產能電子級氫氟酸EL級5萬噸/年、電子級氫氟酸UP級1萬噸/年、電子級氟化銨溶液UP級0.5萬噸/年,二期項目包含產能電子級雙氧水EL級6萬噸/年、電子級氟化銨溶液UP級0.5萬噸/年。預計6萬噸電子級氫氟酸將于2024年一季度投產。福建永飛原有5萬噸電子級氫氟酸預計再次擴產3萬噸至8萬噸/年,預計2023年2季度擴產成功。
2、多氟多化工股份有限公司
公司電子級氫氟酸產能5萬噸/年,其中用于半導體的1萬噸/年,未來電子級氫氟酸年產能將達到10萬噸,具體擴產進程持續(xù)關注。
3、聯仕(湖北)新材料有限公司
聯仕(湖北)新材料有限公司擬投資8億元在荊江綠色循環(huán)產業(yè)園(荊州經濟技術開發(fā)區(qū)化工園區(qū))內建設年產49.2萬噸高純電子化學品純化及分裝項目,其中一期年產18.64萬噸,二期年產30.56萬噸,其中電子級氫氟酸28969噸/年,電子級氟化銨5600噸/年。目前電子級氫氟酸投產約1萬噸。
4、中巨芯(湖北)科技有限公司
中巨芯(湖北)科技有限公司擬總投資 13.8億元,建設項目總產能為年產 19.6 萬噸超純電子化學品(含電子級硫酸 8 萬噸/年、電子級氨水 2.5 萬噸/年、電子級氫氟酸 3 萬噸/年、電子級硝酸 3 萬噸/年、電子級雙氧水 2 萬噸/年、電子級異丙醇 1 萬噸/年,電子級混酸 1000 噸/年),具體投產時間未知。
5、陜西延長石油集團氟硅化工有限公司
延長石油集團氟硅廠區(qū)現有無水氟化氫產品進行提質改造深加工處理,在廠區(qū)已有一套10000t/a 電子級氫氟酸裝置的基礎上,再建設一套20000噸/年電子級氫氟酸裝置,將廠區(qū)99.96%無水氟化氫產品轉化為49%電子級氫氟酸,并對廠區(qū)環(huán)保設施進行提升改造。預計2萬噸產能于2023年8、9月投產。
6、云南氟磷電子科技有限公司
多氟多化工股份有限公司和云南云天化股份有限公司于2020年12月10日共同出資成立,計劃在云南天安化工有限公司廠區(qū)內擬建本次磷肥副產氟硅資源綜合利用項目一期年產2萬噸電子級氫氟酸項目,項目建成后可達到年產20000噸電子級氫氟酸的生產規(guī)模,目前項目投產進度預計靠后,時間暫時不明。
7、施達氟材科技有限公司
施達氟材科技有限公司二期建設7萬噸/年無水氟化鋁、1萬噸/年電子級氫氟酸,項目計劃投資5.2億元,預計開工時間為2023年3月,無水氟化鋁預計2024年9月建成,電子級氫氟酸預計2025年9月建成。
8、務川中歐氟電子新材料有限公司
務川中歐氟電子新材料有限公司鎮(zhèn)南年產4萬噸電子級氫氟酸一期項目生產基地初顯雛形。項目總投資1.22億元。分兩期進行,項目建成投產后可年產電子級氫氟酸4萬噸,產品以供應產業(yè)園內下游氟化工項目使用為主,預計2023年四季度投產2萬噸產能。
9、湖北興力電子材料有限公司
湖北興力電子材料有限公司現一期年產1.5萬噸電子級氫氟酸、6000噸電子級氟化銨、6000噸BHF緩沖氫氟酸蝕刻液,在建二期項目同一期產能相同。僑力化工股份有限公司作為公司股東關聯方,為僑力化工目前擁6萬噸G5等級、6000噸G3等級電子級氫氟酸,產能居世界前列。興力電子計劃在建二期1.5萬噸電子級氫氟酸預計2024年投產。
10、福建省建陽金石氟業(yè)有限公司
福建省建陽金石氟業(yè)有限公司現有電子級氫氟酸產能2萬噸,新增3萬噸電子酸項目總投資近1.5億元,該生產項目預計于2023年6、7、8月份分期投入生產,達產后可年產5萬噸電子級氫氟酸。其中3萬噸產能包含2萬噸UP級別以及1萬噸半導體級別。
11、福建三化元福新材料有限公司
福建三化元福新材料有限公司現擁有2.5萬噸/年無水氟化氫產能,企業(yè)計劃于2024年新增1.2萬噸電子級氫氟酸產能,主要規(guī)劃產品應用為光伏行業(yè)。
日韓半導體大戰(zhàn)
2019年7月日本政府宣布限制3種日產半導體材料的對韓出口,其中包括高純度半導體用氟化氫。當時,全球半導體企業(yè)70%的氟化氫需從日本進口。日方這項出口管制實施后,將使韓國半導體企業(yè)短期內難以找到替代賣家,三星、LG等大型公司將受到巨大沖擊。
日產氟化氫產品在全球市場的占有率高達80%。日本總計有3家氟化氫生產企業(yè),其中森田化學工業(yè)株式會社在市場上幾乎處于壟斷地位。市場上剩余20%的氟化氫產品主要來自中國企業(yè)。7月11日和7月16日,LG與SK海力士分別表示,希望從中國和俄羅斯購買高純度的氟化氫產品。國產高純級電子氫氟酸迎來機會,中巨芯、濱化股份、多氟多等企業(yè)均有產品出口韓國市場。
歷時3年之后,2023年3月22日,韓國產業(yè)通商資源部長官李昌洋表示,日本將于本周宣布取消部分對韓國出口高科技材料的限制。
根據《聯合早報》消息,韓國通訊社Newsis引述韓國產業(yè)通商資源部長官李昌洋表述,日本將于本周解除限制向韓出口高純度氟化氫、含氟聚酰亞胺、光致抗蝕劑三種關鍵半導體材料的措施,韓國據此撤回之前向世貿組織提出的申訴也定于本周完成。